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トレントATEカートリッジフィルター

高流量Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径20nm、10インチタイプ
eds0719.pdf (126592)
 
トレントATEカートリッジフィルター
  • 45nm以降の量産プロセスに対応する高い除粒子性能と高流量を両立する新開発のメンブレンを採用。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
 
トレントATEカートリッジフィルター
除粒子孔径
 20 nm
材質
 フィルター：Non-dewetting PTFE

コア、スリーブ、サポート：PFA

O-リング：被覆ETP、他

ケムロックキー：PFA
封入液
 超純水（オートクレーブ滅菌済）
膜面積
 2.0 m2
最大許容正差圧
 0.44 MPa at 25℃
最大許容逆差圧
 0.35 MPa at 25℃
最高使用温度
 180 ℃
製品型番
 TRCXATE01K TRCXATEB1K TRCXATEK1K TRCXATER1K TRCXATEC1K TRCXATE01 TRCXATEB1 TRCXATEK1 TRCXATER1 TRCXATEC1
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