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トレントATEディスポーザブルフィルター

高流量Non-dewetting PTFEメンブレン、孔径20nm、10インチタイプ
eds0718.pdf (252118)
 
トレントATEディスポーザブルフィルター
  • 45nm以降の量産プロセスに対応する高い除粒子性能と高流量を両立する新開発のメンブレンを採用。
  • 自社開発のNon-dewetting PTFEメンブレンは、RCA洗浄等で発生しやすい膜の乾きによる流量低下を解消。
  • 完全に親水化処理されていますので、フィルター交換が容易です。また、フィルター本来の性能（流量、除去）と清浄性を最大限に利用できます。
 
トレントATEディスポーザブルフィルター
除粒子孔径
 20 nm
材質
 フィルター：Non-dewetting PTFE

コア、スリーブ、サポート：PFA

ハウジング：PFA
膜面積
 2.0 m2
最高使用圧力
 0.59 MPa at 25℃
最大許容正差圧
 0.41 MPa at 25℃
最大許容逆差圧
 0.34 MPa at 25℃
最高使用温度
 180 ℃
製品型番
 TRMXATE4S TRMXATE3S TRDXATE4H TRDXATETH TRDXATELH TRVXATE4S TRVXATE3S TRVXATE4H TRVXATETH