インテグリスのVaporSorb IIは、リソグラフィ装置内を分子状塩基性汚染物質から保護するために設計されたケミカルフィルターです。独自のフィルターメディアにより、大気中のアンモニアおよび有機アミン系物質を効率よく除去し、アミンの放出をサブppbレンジに抑えます。
VaporSorb IIのフィルターメディアは特許出願中のポリマー触媒を採用しており、完全にドーパントがありません。このフィルターメディアは、実験の結果、30ppbの環境下で４年以上の寿命が期待できます。テストデータおよび量産工場における実績に基づけば、VaporSorb IIを二段重ねに使用すれば実際の工場条件下でも３年間交換不要です。
VaporSorb IIはコータ・デベロッパの装置筐体および環境制御ユニットの天井に設置されます。一段目と二段目のフィルター両方がアンモニアおよび有機アミン系物質を除去するための同一のメディアを利用しますので、フィルター間のサンプリング・ポートからサンプル・エアを採取することにより、正確な寿命を予測することができます。