高粘度薬液用ディスペンスシステム 独自の２-ステージ方式デジタルポンプ制御により、ポリイミド等の高粘度薬液の塗布に要求される、 ディスペンス特性、サックバック制御、コンタミネーションコントロール等の諸特性を実現します。
２-ステージポンプデザイン エンコンパス高粘度薬液ディスペンスシステムは、ろ過とディスペンスを独立して動作させる、独自の２-ステージ 方式を採用し、長期間安定したディスペンス特性、良好なサックバック制御、理想的なコンタミネーションコントロール等の諸特性を実現し、高粘度ディスペンスにおけるコスト・オブ・オーナーシップに貢献します。 この２-ステージポンプ方式により、ディスペンスやろ過等の各ポンプ動作におけるフローレートの最適化が可能で、プロセスに要求されるディスペンス・レートを 損なうことなく、高粘度薬液のろ過に要求される低圧・低流速のろ過が実現できます。 低圧・低流速のろ過は、ゲル、パーティクル、マイクロバブルなどのコンタミネーションをユースポイントで効果的に除去し、高分子量薬液の劣化につながる分子せん断を回避するためにも有効です。
デジタルポンプ制御 コントローラには、複数の異なったレシピを用いたポンプ制御機能があります。システム制御の各パラメータは、ハンディーターミナルよりダウンロードされます。 リサーキュレーション三方バルブを通した循環運転は、システムの保守・立ち上げ作業における薬液廃棄量を低減します。また粘度変化も防止します。