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チャンバーガード ディフューザー

真空チャンバー開放時の気流拡散

 

チャンバーガード は、真空チャンバー内の粒子を巻き上げることなく、大気圧状態に迅速に戻すためディフューザーです。プロセスガスのろ過で実績の高いフィルターメディアは、均一な気流分布と高い粒子除去性能を発揮します。

各種チャンバーに合わせて多様なラインアップをご用意しており、既存装置へ取り付けも可能です。