インテグリスのプレナコアは、CMP後のウェーハ表面クリーニングにおいて、優れた性能を一貫して発揮する、コア一体型のPVAブラシです。
プレナコアはコアを通して成型する独自のテクノロジーにより、PVAをポリプロピレン製のコアに絶対的に付着させていますので、従来のようなPVAの滑り、膨張、同心性の損失がありません。
PVAブラシの形状安定性および均一なコア流量により、ムラのない効率的なウェーハ表面のクリーニングが得られます。
装置のダウンタイムを短縮 コアを通して成型することにより、コアへの密着性に対するヒューマンエラーによる製品間のバラツキがありません。 さらに寸法安定性および同心性に対する製品間のバラツキも少ないので、ブラシの位置決め（ギャッピング）がより容易に行えます。 初めのウェーハから最後のウェーハまで、プレナコアのブラシ形状およびウェーハとのギャップは変動がありませんので、安定したプロセスが得られます。 プレナコアは洗浄した状態で出荷されますので、装着後のフラッシング時間およびブラシの試運転が短縮できます。CMP装置の迅速な立ち上げ、スループットの向上に寄与します。
ウェーハ表面欠陥を低減 よりクリーンなPVA、寸法安定性の高さ、さらには流量の均一性、それらの組合せにより、ウェーハ表面のパーティクル欠陥の低減を安定して得られます。