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PTFE/PFAフィルター
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター
フロロガードAT/ATXディスポーザブルフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-1.0µm、4/10インチタイプ
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
低抽出で特殊洗浄を施されたクリーンな構成部材。
疎水性メンブレンですので、水溶系薬品に使用される場合は、親水化処理が必要です。
フロロガードAT/ATXカートリッジフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-10µm、4/10/20/30インチタイプ
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
低抽出で特殊洗浄を施されたクリーンな構成部材。
疎水性メンブレンですので、水溶系薬品に使用される場合は、親水化処理が必要です。
フロロガードRSフィルター
フォトレジスト剥離および残渣物除去用フィルター
汚染物の形態に合わせた3タイプをご用意。
PRS:プレフィルター
RST:メンブレンフィルター
RSM:プレフィルター+メンブレンフィルター
カートリッジタイプとディスポーザブルタイプをご用意。
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター
フロロラインHFディスポーザブルフィルター
PFA中空糸、孔径0.05-0.2µm
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
6.5mL以下のホールドアップ容積。
コンパクトサイズ。
フロロライン-Sディスポーザブルフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-0.2µm、HMDS等のろ過
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
コンパクトサイズ。
フロロラインP-1000/15000/3000 ディスポーザブルフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-0.2µm、カプセルタイプ
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
コンパクトなデザイン。
流量に合わせて3タイプをご用意。
ポンプガードⅡ
循環洗浄システムのポンプ保護用フィルター
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
液滞留を抑えるデザイン。
ウェハーガード F-4/16/40 カートリッジフィルター
疎水性PTFEメンブレン、孔径0.05-1.0µm、ネガレジストのろ過
ガーディアンAT/ATXカートリッジフィルター
(2010年11月に販売終了)
供給ラインに適した高除粒子性能メンブレン。
耐薬品性に優れたオールフッ素樹脂製フィルター。
低抽出で特殊洗浄を施されたクリーンな構成部材。
疎水性メンブレンですので、水溶系薬品に使用される場合は、親水化処理が必要です。