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リキッドレンズ

超純水精製システム

 

193nmの液浸露光では、高品質の超純水が使用されます。

リキッドレンズは、工場から供給される純水を液浸露光用にコンディショニングします。

  • 高性能フィルターによるパーティクル除去
     
  • PFA熱交換器を用いたクリーンな温度制御
     
  • PFAメンブレンを用いた効果的な気泡除去
     
  • UVランプとイオン交換器を用いたTOC削減
     
  • 先進の制御システム