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M200シリーズ SMIFポッド

200mmウェーハの工程内搬送容器

 

 
  • 25枚または26枚入りウェーハキャリアを搭載可能
  • ポリカーボネート製ハウジング
  • キャリアを安全に保持するスプリング機構
  • SEMI規格E19に準拠
  • OHTに対応するトップフランジ
  • PGV/AGVに対応するサイドレール
  • マニュアル搬送が可能なサイドハンドル
  • ワイドフランジキャリアにも対応(M205)
  • ガスパージポート(オプション)
  • 各種ID対応(オプション)
  • E200 SMIFポッドドアへの変更可能