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SB300 FOSB

300mmウェーハの自動ドア対応出荷容器

 

SB300

  

SB300 FIMS対応FOSBは、ウェーハの高度な保護および最適な自動化インターフェースを提供し、デバイスの全面的な歩留りおよび設備全体の生産効率を向上させるために開発されました。

  • 超高純度ポリカーボネート製ハウジングは寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。
  • 精度の高いウェーハ設置面により、ウェーハ搬送スループットを最大限に引き上げます。
  • ガスケットによる密閉とフィルターからの通気により、外部からのパーティクル汚染を抑え、容器内の圧力変化を抑えます。
  • 部品を外すことなく、そのまま洗浄できますので、再使用が容易です。

FIMS：Front Opening Interface Mechanical Standard

FOSB：Front Opening Shipping Box

 

主な仕様

ウェーハサイズ

300 mm

収容枚数

25枚

ポケットピッチ

10 mm

外形寸法

333(L)×415(W)×337(H) mm

主要材質

ハウジング

ポリカーボネート

ドア、クッション

ポリカーボネート

ハンドル、フランジ

ポリカーボネート

KCプレート

ポリカーボネート

センターストリップ

熱可塑性エラストマー

ガスケット

熱可塑性エラストマー

FIMS規格

SEMI E62準拠

使用温度

常温（保管温度：70度以下）

重さ

4.6 kg （空容器）