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製品・サービス

インテグリスは、半導体、フラットパネルディスプレイ、ハードディスクドライブなどのハイテク分野で使用される貴重な材料を精製、保護、搬送する製品・サービスを提供します。 インテグリスは、米国、日本、アジア、ヨーロッパに現地法人または製造・サービス拠点を有し、そのグローバルなネットワークでお客様をサポートします。

1液体のろ過・精製

高純度薬品、純水・超純水、フォトケミカル、ファインケミカル、CMPスラリーなど、各種液体のろ過・精製のニーズにお応えする、フィルター、ピューリファイヤー、ディスペンスシステムを提供します。

2ガスのろ過・精製

高純度ガスの供給から局所クリーン化に至るまで、さまざまなガスのろ過・精製のニーズにお応えする、ガスフィルター、ガスピューリファイヤー、ケミカルフィルターを提供します。

3液体の移送・制御

バルブ、継手、薬品コンテナー、流量コントローラ、ベローズポンプなどの豊富なフルイドハンドリング製品を提供します。

4ウェーハ/レチクル容器

ウェーハシッパー、ウェーハキャリア、レチクルポッドなど、ウェーハおよびレチクルの保護、搬送に関わるソリューションを提供します。

5半導体後工程容器

チップトレー、マトリクストレー、フィルムフレームシッパーなど、半導体チップおよび完成品ウェーハの保護、出荷に関わる製品を提供します。

6ハードディスク容器/ディスクヘッドトレー

ディスクシッパー、ディスクキャリア、ディスクヘッドトレー、ディスク容器の洗浄サービスなどのソリューションを提供します。