会社案内

会場名をクリックすると会場案内図、セッション番号をクリックするとセッション内容が表示されます。

申込締切り：各回とも開催日の二週間前の同曜日到着分を以って締切りとさせていただきます。
(なお、締切り前でも定員に達した場合は、お断りさせていただく場合がございますので予めご了承ください。)

本セッションは、弊社製品をご使用またはご検討されているエンドユーザー様および装置・材料メーカー様を対象としております。販売代理店様のお申込みは、弊社までご相談願います。

TS-0901：ガスフィルタとガス精製器の基礎
ご対象者：各種ガス、エアをご使用のお客様や製造にご関係の方
内容の種類：■基礎編　□応用編　□実用編　（■印の内容です）
内容：

半導体や液晶ディスプレイパネルに代表される電子デバイス、あるいは、最近注目度が非常に高くなっている太陽電池の製造プロセス等において、様々なガスが使用されています。

微細粒子、揮発性有機物、揮発性酸、アンモニア、あるいは微量水分等の不純物を、プロセスガス、あるいはパージガス中から除去し、気体の清浄度を高めることが、製品の歩留まりや品質を向上させるために、しばしば重要になります。

本セッションでは、気流中からの各種不純物の除去メカニズム、ガスフィルタを構成する材料、フィルタに求められる特性およびその評価方法等について説明するとともに、ガス中に浮遊する不純物を効率的に除去する高性能パーティクルフィルタ、およびガス精製器について紹介します。

TS-0902：ドライプロセスにおける不純物汚染の防止
ご対象者：各種ガス、エアをご使用のお客様やフォトリソプロセス、各種ドライ成膜プロセスにご関係の方
内容の種類：□基礎編　□応用編　■実用編　（■印の内容です）
内容：

高性能パーティクルフィルタを使用しているにもかかわらず、製品の粒子汚染が問題になることがあります。フィルタ自身の汚染あるいは劣化による粒子の放出、プロセスガスの加水分解、ロードロックチャンバ内における粒子の巻き上がり、ガス供給システムの腐食等がその原因です。

ドライプロセスにおける粒子汚染の発生要因とその対策について紹介します。
また、半導体デバイスの有機汚染、レチクルのヘイズ等、揮発性不純物が原因となる諸問題と、ガス精製技術による対策についても紹介します。

TS-0903：薬液用フィルタの基礎（溶剤編）
ご対象者：溶剤・有機薬品、高粘度薬品（溶剤系）、レジストをご使用のお客様や製造にご関係の方
内容の種類：■基礎編　□応用編　□実用編　（■印の内容です）
内容：

液体用精密ろ過フィルタの材質、構造、ろ過膜の製造方法、粒子除去メカニズムおよび性能評価方法等について、溶剤をベースとした薬液のろ過に用いられるフィルタを中心に取り上げます。

このセッションでは、フィルタの濡れ性、ろ過前操作、ろ過膜の吸着性等や粘度が高い液体をろ過するときの注意点について紹介します。

液体用フィルタに対する基礎的な理解を深めていただき、フィルタの選定やろ過装置の設計、メンテナンス等にお役立てください。

TS-0904：気泡・ゲル除去に適したろ過方法（溶剤編）
ご対象者：溶剤・有機薬品、高粘度薬品（溶剤系）、レジストをご使用のお客様や製造にご関係の方
内容の種類：□基礎編　■応用編　■実用編　（■印の内容です）
内容：

薬液に含まれる異物は、固い粒子（異物）と柔らかい粒子（異物）に分類することが出来ます。特に、溶剤中にポリマーが含まれ、粘度が高い薬液などでは、柔らかい粒子に分類されるゲル状物や気泡に注意が必要です。異物の形態によってろ過方法を工夫することで、より効果的に異物を除去することが可能となります。

このセッションでは、溶剤をベースとした薬液でのフィルタ使用例からフィルタによる微小粒子やゲル、気泡除去などのコンタミネーションコントロール技術を紹介します。

TS-0905：薬液用フィルタの基礎（水溶性薬品編）
ご対象者：純水・各種薬品（水溶性薬品）をご使用のお客様や製造にご関係の方
内容の種類：■基礎編　□応用編　□実用編　（■印の内容です）
内容：

薬液に使用される精密ろ過フィルタの、材質、構造、ろ過膜の製造方法、粒子除去メカニズム、および性能評価方法等について説明します。

また、フィルタを使用される際に重要となる、フィルタの濡れ性、親水化処理方法、液置換方法、フィルタの目詰まりと流量低下の関係、および薬液との適合性等について紹介します。

薬液用フィルタに対する基礎的なご理解を深めていただき、各プロセスに適したフィルタの選定、フィルタの寿命管理、あるいは製品の品質向上等にお役立てください。

TS-0906：使用後のフィルタ分析事例から考える各用途に適したフィルタ
ご対象者：純水・各種薬品（水溶性薬品）をご使用のお客様や製造にご関係の方
内容の種類：□基礎編　■応用編　■実用編　（■印の内容です）
内容：

フィルタをご使用いただき、水溶性薬品中の異物やコンタミなどを除去することにより、製品歩留まりの改善あるいは品質の向上が期待されます。その一方で、使用開始当初から薬液が流れない、目詰まりが早い、ろ過後も粒子が低減しないといったトラブルが発生することも少なくありません。本セッションでは、お客様が実際に経験されたトラブル例を、その原因解析結果と共に紹介します。

フィルタの流量や粒子除去に関連する問題の要因を知って頂くことによって、 その用途に適したフィルタの選定の一助としていただくとともに、事前に起こりうるトラブルを知ることによって、トラブルの迅速な解決にお役立て下さい。