「トレント（Torrento™）」はインテグリスの技術により開発された画期的な高除去率、高流量フィルターです。
循環ろ過用に開発された「トレントATE 20nm」は、微細な孔径ながら高流量を実現。
45nm量産プロセスの洗浄に要求される微細な粒子管理に最適なフィルターです。
高除去率、高流量メンブレンテクノロジー
「トレントATE 20nm」フィルターは、45nmノードに対応する高い除粒子性能と高流量特性を両立する、新開発のメンブレンを採用しています。パーティクルによるウェーハ欠陥を最小限に抑え、しかもハイスループットを維持するために最適な循環洗浄プロフィールを提供します。
Non-dewettingテクノロジー
「クイックチェンジ」で実績の高いnon-dewettingテクノロジーとの融合により、RCA洗浄においても、高除去率と高流量を安定して発揮しますので、先端テクノロジーノードで要求される高CpK の実現に寄与します。また完全に親水化してパッケージングされていますので、ラインに装着するだけでフィルターの性能を100%発揮することが可能です。
既存製品からのグレードアップが容易
「クイックチェンジ」シリーズとの形状互換性を完全に維持していますので、既存製品からのグレードアップが容易です。
「トレント」は45nmノード以降のRCA洗浄用フィルターにおける新スタンダードです。