薬液供給
フラットパネルディスプレイ製造での歩留まりの向上、コストの削減、装置稼働率の向上に役立つ薬液供給の課題解決のための信頼性の高いソリューション
インテグリスは、清浄度とコンタミネーションを制御し、プロセスの入口から出口まで高純度なガスや液体を安全に制御するための製品群を取り揃えています。 ディスプレイの大型化、ピクセルの高解像度化、多様な機能に向けた、インテグリスの信頼性が高く実績のある画期的なソリューションで、薬液供給におけるの清浄を維持し、歩留まりを向上させ、コストを削減します。