InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ
- 0 - 1250 mL/min
- 半導体
- LED
- フラットパネルディスプレイ
- LED
- 薬液供給
- CMP
- フォトリソグラフィ
- ウェーハの大口径化
- 2.5 - 40 L/min
- 半導体
- 太陽電池
- データストレージ
- LED
- 薬液供給
- CMP
- フォトリソグラフィ
- ウェーハの大口径化
- 0 - 40 L/min (従来製品)
- 太陽電池
- データストレージ
- フラットパネルディスプレイ
- LED
- C-シリコン
- 薄膜
- フォトリソグラフィ
- ウェーハ製造
- N/A
- 0-120 L/min
- Semiconductor
- Data Storage
- LED
- Flat Panel Display
- Bulk Chemical Delivery