フォトリソグラフィ


信頼性の高いコンタミネーションコントロール、クリーンで安全なウェーハ搬送を実現するインテグリスのソリューション

お客様の運用コストの削減、作業効率の最大化、化学薬品の価値向上をサポートします。 インテグリスは、フォトリソグラフィ向けソリューションとして、さまざまな薬品、ガスおよび薬品のパッケージング、フォトケミカルディスペンスシステム、ガスフィルターおよび精製器、レチクルのハンドリング製品、ウェーハのハンドリングおよび出荷容器を提供しています。