ガスピューリファイヤーの再生サービス


Gas Purifier Regeneration Services basic image

インテグリスでは、お客様がガスピューリファイヤーを継続してご利用いただけるよう、ガスピューリファイヤーの再生サービスを行っています。 ピューリファイヤー内の飽和した媒体から不純物を取り除いて再生することで、繰り返し使用することができます。 再生サービスの手続きについてはお問い合わせください。

ピューリファイヤーを再生することで、新しいピューリファイヤーを購入するのと比べ30%~70%の費用を節約でき、所有コストの削減にもなります。 さらに、ピューリファイヤーのリサイクルは環境にやさしい取り組みでもあります。

注目のホワイトペーパー

Bowling for Contaminants Covder

ボウリングのような汚染物質除去: ガス精製の新しい科学

このホワイトペーパーでは、デバイスの高い歩留まりを確保するために、ウェーハプロセスの全工程で供給元からガス純度を管理する精製の科学の重要性について説明しています。

再生サービスの利点:

  • 新規購入に対するコスト削減
  • ピューリファイヤーの性能回復
  • 有害物質の処分費用がかからない
  • ピューリファイヤーの保証期間の延長
  • 3ヵ所の再生センター (サンディエゴ(米国)、ドレスデン(ドイツ)、 クリム(マレーシア)

詳しいガスピューリファイヤーの再生サービスについて知りたい。

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