• our science our science インテグリスのサイエンス
    • 産業別

      • マイクロエレクトロニクス

        • 半導体

        • データストレージ

        • フラットパネル ディスプレイ

        • LED

        • Solar

      • その他の工業

        • 航空宇宙

        • 一般工業

        • ガラス

    • 製造分野別

      • ロジック製造

      • メモリ製造

      • 半導体装置製造

      • 薬品製造

      • バイオプロセッサ

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • 分析サービス

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • Technology Centers

        • China Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ
    • ベアダイ/チップトレー

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニング

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • エレクトロニクス用薬品

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • 流体管理

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • 流体のハンドリング

        • 継手

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • PFA製 バーブ継手

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • バルブ

          • CR および CH バルブ

            • CR4シリーズ バルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

            • CRE4 Series Valves

            • CRE8 Series Valves

          • Integra®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • チェックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

          • Integra® Plus WS ESD Valves

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • プロセスのモニタリング

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

      • AMCフィルター

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

        • Aerospace Components

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー
    • 関連資料

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • 公式

      • 耐薬品性

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • 完璧なパターンの追求

      • 高純度薬液の供給

      • 高純度ガスの供給

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Silicon Carbide Substrate Solutions

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Targeted Contaminant Removal

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて
    • 企業概要

    • 企業の社会的責任 (CSR)

    • 採用情報

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • ニュース

    • インテグリスの日本法人

    • 製造拠点

Entegris to Create Advanced Nanotech R&D and Manufacturing Center in New England

The Entegris i2M Center for Advanced Materials Science Will Support World’s Most Demanding Semiconductor Manufacturing

PUBLISHED 4月 12, 2012 | SEMICONDUCTOR

BILLERICA, MA, April 12, 2012 – After a worldwide search for a premier location, Entegris (NASDAQ: ENTG), a Billerica-based supplier to the semiconductor and microelectronics industries, announced today its plans to create the Entegris i2M Center for Advanced Materials Science ("i2M Center") in Bedford, Massachusetts.   

The i2M Center will be one of New England’s leading R&D and manufacturing centers for filtration media, electrostatic clamps (E-Chucks) and proprietary advanced, low-temperature coatings. These technologies are needed to develop critical components used in the world’s most demanding and stringent semiconductor manufacturing environments. Entegris’ products, which control nano-level contamination so small it is measured in widths of atoms, enable the production of advanced semiconductor devices and other electronics used in computers, smartphones, TVs and cars. 

“As next-generation devices – which are at the heart of tomorrow’s computers, tablets, and mobile phones – become smaller, more powerful, and consume less energy, the technologies used to make these devices are pushing the boundaries of physics,” said Gideon Argov, president and chief executive officer of Entegris. “To support the manufacturing of these devices, the Entegris i2M Center will focus on solving the most difficult purification, process control, and material protection challenges, something only a handful of companies in the world can do.” 

Entegris recently purchased land and an existing 80,000 square foot building at 9 Crosby Drive in Bedford, Massachusetts to house the i2M Center. It expects to invest approximately $45 to $50 million in building infrastructure upgrades and equipment over the next two years. Entegris, which reported a record $749 million in sales in fiscal 2011, expects the first phase of the Center to be operational in early 2013. 

The i2M Center will consolidate certain existing Entegris operations in Massachusetts and house approximately 100 professional and skilled employees who will transfer from those existing sites. The company also plans to add 10 new engineering and development positions specializing in membrane science and E-Chucks. Entegris currently employs approximately 350 employees in Massachusetts, and approximately 2,700 employees worldwide.  

“i2M denotes ‘ideas to market.’ This facility will be our flagship innovation center for developing break-through materials science technologies to support our global customers, many of which are in Asia. Given our long history in the region, local employee talent, and the concentration of material science and engineering experts in New England, there is no better location than right here in Massachusetts for our i2M Center,” said Bertrand Loy, chief operating officer of Entegris. 

"We are excited that Entegris chose Massachusetts as home for its innovative new center," said Massachusetts Governor Deval Patrick. "Companies like Entegris know that the Commonwealth is second to none in innovation, technology and life sciences and projects like this help Massachusetts win the future." 

ABOUT ENTEGRIS
(NASDAQ: ENTG) www.entegris.com For more than 40 years, Entegris has provided a wide range of products for purifying, protecting and transporting critical materials used in processing and manufacturing for the semiconductor, microelectronics, energy, life sciences and  other high-tech industries. These products and materials are often used to make the building blocks of many of the world's most complex microelectronic products, such as computers, mobile devices and phones, data storage components, televisions and monitors, and automobiles. Entegris is ISO 9001 certified and has 33 manufacturing, customer service or research facilities in the United States, China, France, Germany, Israel, Japan, Malaysia, Singapore, South Korea and Taiwan. Follow us on Twitter (@Entegris) and YouTube.