• our science our science インテグリスのサイエンス
    • 産業別

      • マイクロエレクトロニクス

        • 半導体

        • データストレージ

        • フラットパネル ディスプレイ

        • LED

      • その他の工業

        • 航空宇宙

        • 一般工業

        • ガラス

    • 製造分野別

      • ロジック製造

      • メモリ製造

      • 半導体装置製造

      • 薬品製造

      • バイオプロセッサ

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • 分析サービス

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • Technology Centers

        • China Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ
    • ベアダイ/チップトレー

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニングソリューション

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • エレクトロニクス用薬品

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • 流体管理

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • 流体のハンドリング

        • 継手

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • PFA製 バーブ継手

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • バルブ

          • CR および CH バルブ

            • CR4シリーズ バルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

          • Integra®バルブ

          • Cynergy®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • チェックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • プロセスのモニタリング

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

      • AMCフィルター

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー
    • 関連資料

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • 公式

      • 耐薬品性

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • 完璧なパターンの追求

      • 高純度薬液の供給

      • 高純度ガスの供給

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Silicon Carbide CMP Solutions

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Targeted Contaminant Removal

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて
    • 企業概要

    • 企業の社会的責任 (CSR)

    • 採用情報

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • ニュース

    • マスメディア報道

    • インテグリスの日本法人

    • 製造拠点

Entegris' New Advanced Technology Manufacturing Center Supports Semiconductor Industry's Move to 450 mm and EUV Production

PUBLISHED 5月 19, 2011 | WAFER HANDLING
プレスリリース

Billerica, Mass. – May 19, 2011—Entegris Inc. (NASDAQ: ENTG) today announced plans to open an advanced technology manufacturing facility in Colorado Springs, Colo. for production of 450 mm semiconductor wafer handling products and Extreme Ultraviolet Light (EUV) reticle pods. At the new site, Entegris will develop and manufacture wafer handling products that will support the industry’s move from 300 mm wafers to 450 mm wafers. The planned facility, which will occupy an existing 40,000 square foot site, will be operational later this year and will augment Entegris’ current manufacturing presence in Colorado Springs.

“A number of leading semiconductor manufacturers have announced plans for moving to 450 mm in their next-generation fabs in North America, and we are already working with them and others in the industry to develop solutions for shipping and transporting these larger wafers,” said Bill Shaner, vice president and general manager for Entegris’ Microenvironments Division. “The new site represents a strong commitment to provide leading solutions that meet the needs of our customers as they ramp up their 450 mm operations. We selected Colorado Springs because of the wafer handling technology and manufacturing expertise we already have there, the site’s close proximity to key customers, and the excellent support we received from the Colorado Springs Regional Economic Development Corporation.”

The products manufactured at the new advanced technology facility will solve many of the transporting issues that semiconductor manufacturers will face in scaling up to 450 mm manufacturing. Entegris’ 450 mm wafer shippers and carriers will help these manufacturers optimize automation processes and handle wafers that are 1.5 times larger than the ones they currently use. The newly leased site will also be used to develop and manufacture products for EUV lithography, a new technology being developed by the semiconductor industry to make smaller, more powerful semiconductor chips. Entegris’ reticle pods will protect the reticle, a tool used in semiconductor production, from contaminants during lithography processes.

“We are thrilled that Entegris has decided to open an advanced technology manufacturing facility in Colorado Springs,” said Mike Kazmierski, President and CEO of the Colorado Springs Regional Economic Development Corporation. “Entegris is a leading edge, global technology company that provides not only quality jobs to the region but confirms, through its decision, that Colorado Springs remains a great place for the high growth technology companies of the future.”

Entegris is working with Colorado Springs Regional Economic Development Corporation to bring this new development to Colorado Springs. With the new facility, Entegris expects to add an estimated 100 jobs in Colorado Springs over the next five years. The company currently employs over 200 in Colorado Springs and approximately 2,900 worldwide.

ABOUT COLORADO SPRINGS REGIONAL ECONOMIC DEVELOPMENT CORPORATION
The mission of the Colorado Springs Regional Economic Development Corporation, a private not-for-profit corporation, is to sustain quality of life through a healthy economy. It does so by providing economic development services that result in the current and future retention and attraction of primary jobs which provide for economic diversity, replacement of lost jobs and job opportunities for those entering the workforce for the first time. www.coloradosprings.org (now defunct).