PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition、プラズマCVD)コーティング
低温成膜技術を活用した高密度アモルファス コンフォーマル コーティング
インテグリスは、PECVDプロセスを使用したシリコンおよびカーボンベースのコーティングを専門分野のひとつとしています。幅広いアプリケーションに対応する成膜コーティングは、金属、合金、セラミック、半導体、ポリマーなどのさまざまな真空対応基板上で使用できます。さまざまな形状とサイズを収容でき、直径787.4 mm (31")までのチャンバーのコーティングが可能です。