スタックバルブ
平面内にポートを配置することによって複数のバルブを重ねることができ、貴重な設置面積を節減できます。
この革新的な設計の三方バルブは、いくつものポートがひとつの平面内に並べられるため、流体制御システム内の設置面積を大幅に節減できます。すべての接液部はPFAまたはPTFE製で、高純度薬液、純水での使用に適した耐薬品性を実現しています。
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