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E200 ウェーハ SMIF ポッド ドア アッセンブリー

インテグリスの E200 ドア アッセンブリーは予め洗浄済みで、A200 または M200 のウェーハ SMIF ポッドの性能をアップグレードし、確実にウェーハを保護します。

  • すべての A20X および M20X のウェーハ SMIF ポッドに対応したドアおよびガスケット
  • 自動洗浄対応で、高度な汚染管理が可能
  • ガスケット材質、ブリーザーフィルター、パージポートなどのオプションにも対応可能
  • ドアシールの信頼性を確実にするガスケット
  • 汚染のリスクを軽減し、腐食を抑えるメタルフリー構造
  • ドア開閉時におけるカムとラッチアームからの粒子の発生を最小限に抑えた表面仕上げ
  • 取り外し可能なインフォパッドプラグにより、FEOL、BEOL、A、B、C、D の自動化インターフェースが可能
  • 簡単に取り付けできるオプションの RFID タグにより、工場内のウェーハロットが追跡可能
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