200 mm プロセス用ウェーハキャリア
- ウェーハの洗浄・剥離
仕様書
材質 | PFA | |
最高使用温度 | 連続使用 (組立品) | 165 °C |
連続使用 (成形品) | 180 °C | |
ウェーハ温度 | 290 °C | |
ウェーハ収容枚数 | ウェーハキャリア (成型品) | 25、26、または 50 枚 |
モジュール ウェーハキャリア (組立品) | 50 枚 |
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型番 | 製品タイプ | ウェーハ収容枚数 | プロファイル | エンドウォールハンドルタイプ | エンドウォール フランジタイプ | サイドウォール | トップフランジ | ローテイド レイル | エンドウォール構成 |
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A192-80M-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | 標準、ハイポジション | 標準 | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A192-80MNH-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | N/A | 標準 | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A192-80MU1-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | N/A | 標準 | オープン | なし | N/A | U 字型 |
A192-81M-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ロー | 標準、ハイポジション | 標準 | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A192-81MJ26-HP0215 | ウェーハキャリア | 26 | ロー | 標準、ハイポジション | ノッチ付きワイド | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A192-82M-0215 | ウェーハキャリア | 50 | ロー | 標準、ハイポジション | 標準 | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A192-82MC-0215 | ウェーハキャリア | 50 | ロー | 標準、ハイポジション | 標準 | 加工 | あり | N/A | 全壁 |
A192-82MCST-0215 | ウェーハキャリア | 50 | ロー | 標準、ハイポジション | 標準 | 加工 | なし | N/A | 全壁 |
A200-80MG-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | ラージサイズ、ハイポジション | Cスタイル | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A200-80MW-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | 標準、ハイポジション | Cスタイル | オープン | なし | N/A | 全壁 |
A200-80SMS-0215 | ウェーハキャリア | 25 | ハイ | N/A | Cスタイルおよびトップセンター浸漬型 | オープン | なし | N/A | U 字型 |
A220-200B50IP-0215 | モジュールウェーハキャリア (組立品) | 50 | 強化型 | N/A | リフトポイントおよび V ノッチ | オープン | なし | あり | 全壁 |
A220-200B50MIP-0215 | モジュールウェーハキャリア (組立品) | 50 | 強化型 | N/A | リフトポイントおよび V ノッチ | オープン | なし | N/A | 全壁 |