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150 mm Ultrapak® ウェーハ出荷容器

実証済みの設計で150 mmウェーハを高い信頼性で保護し、幅広い装置に対応しています。

  • Wafershield™高純度ポリプロピレンにより無機物とパーティクルの発生を抑制 
  • ハンドリングに便利な水平方向と垂直方向のピックアップフランジ 
  • ウェーハ押さえによりウェーハの回転とパーティクル汚染を低減し、破損を防止
  • ウェーハ厚は、薄型、標準、厚型 から選択可能
 
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