200 mm SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー
| シッパーの構成: | シッパーキットの構成: | |
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- ウェーハの出荷
- 3D薄ウェーハ、レンズ、またはバンプ付きウェーハ
仕様書
| ウェーハ径: | 200 mm | |
| ウェーハ収容枚数: | 25 枚 | |
| ウェーハ厚さ: | 可変 (最大 1100 µm) | |
| シッパーの寸法: | 奥行 | 23 cm |
| 幅 | 23 cm | |
| 高さ | 9 cm | |
| 重さ: | 0.7 kg * | |
*26 個のリングを含みます。
| 特性 | 試験方法 | 単位 | 標準値 |
| 比重 | ASTM D-792 | g/cc | 0.97 |
| 引張強度 | ASTM D-638 | MPa | 33.3 |
| 引張弾性率 | ASTM D-638 | MPa | 2,207 |
| 引張伸び | ASTM D-638 | % | 9.7 |
| 曲げ弾性率 | ASTM D-790 | MPa | 2,069 |
| ノッチ付きアイゾット衝撃強度 | ASTM D-256 | J/m | 42.4 |
| ノッチなしアイゾット衝撃強度 | ASTM D-256 | J/m | 742 |
| 堆積抵抗率 | ASTM D-257 | ohms-cm | 101-103 |
| 表面抵抗率 | ASTM D-257 | ohms/sq. | 103-108 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
| 型番 | 製品タイプ |
|---|---|
| HWS200C-101-61C02M | 容器 |
| HWS200C-1PK-KIT | ホリゾンタルウェーハシッパーキット |
| シッパーの構成: | シッパーキットの構成: | |
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