Chacollet™ ハイドロカーボン インライン ピューリファイヤー
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- クリーンドライエア
- レーザー発生装置のガスパージライン
- 露光装置のレンズパージライン
- 各種装置の不活性ガス供給ライン
仕様書
材質: | 精製剤 | 高清浄度活性炭 |
フィルター | 316L ステンレススチール | |
ハウジング | 316L ステンレススチール | |
内面粗度: | 電解研磨 | |
不純物捕捉率: | ガス状有機系 | 1 ppb 以下 (C6以上のハイドロカーボン) |
粒子 | 0.01 µm 以上の粒子を99.9999 % 以上 (30 L/min @ 20°C, 101 kPa) | |
初期清浄度: | ガス状不純物 | 1 ppb 以下 (C6以上のハイドロカーボン (1 L/min @ 20°C, 101 kPa) |
粒子 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03個/L 以下 (30 L/min @ 20°C, 101 kPa) | |
使用条件: | 仕様ガス種 | 不活性ガス |
最高入口側圧力 | 0.97 MPa | |
最大許容差圧 | 0.97 MPa | |
推奨流量 | 30 L/min 以下@ 20°C, 101 kPa | |
最高使用温度 | 150 °C (不活性ガス) |
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