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Chacollet™ ハイドロカーボン インライン ピューリファイヤー

Chacollet™ (チャコレット) ガスピューリファイヤーは、不活性ガス中のC6以上のハイドロカーボンを効果的に除去できる除粒子フィルター内蔵のピューリファイヤーです。
露光機、レーザー発生装置などのレンズやレチクル、光学系のガスパージラインにおける曇りの主原因とされる揮発性有機化合物を連続してサブppb以下まで低減できます。

  • 不活性ガス (CDA、N2、Ar、Heなど) 中の有機物と微粒子を効果的に除去 
  • 極限まで抑えた初期有機物放出量
  • C6～C30の揮発性有機化合物を非常に高い効率で低減
  • 電力や熱を使うことなく、常温で使用可能

 

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