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GateKeeper® GPU オゾン ガス ピューリファイヤー

GateKeeper® (ゲートキーパー) GPU オゾン ガス ピューリファイヤーは、高度なガス精製技術により、クロム (Cr) やマンガン (Mn) などの固形揮発性金属をオゾンガスから効率的に除去します。

  • 高度なガス精製技術によって、Cr 揮発性粒子除去率 > 99 % を達成し、オゾンガス供給システムに必要な調整時間を大幅に短縮
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  • ガスケット シールのコンパクトなインライン設計で、取り付けが簡単
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