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MegaTorr® PS31、PS32、PS33 二酸化炭素 ガス精製装置

信頼性が高く、低コストで、高性能な PS31、PS32、PS33 自動再生型 二酸化炭素 ガス精製装置シリーズは、さまざまな不純物を効率的に除去します。

  • 半導体向けの超高純度ガス用に設計された吸着式の装置です
  • 吸着筒が吸着(精製)と再生の 2 筒交互運転で連続的に精製を行います
  • 吸着剤の再生は、精製した窒素 (N2)、水素 (H2)、またはプロセスガスを高温で逆流させて行います
  • PS33 は、全炭化水素 (THC)、H2、および一酸化炭素 (CO) を二酸化炭素 (CO2)  と水 (H2O) にする加熱型触媒筒が含まれます
  • 最適化された設計により、省フットプリントで、0 ～ 8,333 slpm ( 0 ～ 500 Nm3/hr) の流量とサブ ppb レベルの性能を提供します
  • 特定のガスを除去する用途に応じて PS31、PS32、PS33 から選択可能です

 

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