• our science our science インテグリスのサイエンス

    • 産業別

      • マイクロエレクトロニクス

        • 半導体

        • データストレージ

        • フラットパネル ディスプレイ

        • LED

        • Solar

      • その他の工業

        • 航空宇宙

        • 一般工業

        • ガラス

    • 製造分野別

      • ロジック製造

      • メモリ製造

      • 半導体装置製造

      • 薬品製造

      • バイオプロセッサ

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • 分析サービス

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • Technology Centers

        • China Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ

    • ベアダイ/チップトレー

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニング

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • 流体管理

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • 流体のハンドリング

        • 継手

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • PFA製 バーブ継手

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • バルブ

          • CR および CH バルブ

            • CR4シリーズ バルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

            • CRE4 Series Valves

            • CRE8 Series Valves

          • Integra®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • チェックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

          • Integra® Plus WS ESD Valves

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • プロセスのモニタリング

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

      • AMCフィルター

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

        • Aerospace Components

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー

    • 関連資料

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • 公式

      • 耐薬品性

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • 完璧なパターンの追求

      • 高純度薬液の供給

      • 高純度ガスの供給

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Silicon Carbide Substrate Solutions

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Targeted Contaminant Removal

      • Accelerating Speed-to-Yield with High-Purity Materials Solutions

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて

    • 企業概要

    • 企業の社会的責任 (CSR)

    • 採用情報

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • ニュース

    • インテグリスの日本法人

    • 製造拠点

私たちのサイト 私たちのサイト 私たちのサイト
more more さらに見る

MegaTorr® PS31、PS32、PS33 二酸化炭素 ガス精製装置

信頼性が高く、低コストで、高性能な PS31、PS32、PS33 自動再生型 二酸化炭素 ガス精製装置シリーズは、さまざまな不純物を効率的に除去します。

  • 半導体向けの超高純度ガス用に設計された吸着式の装置です
  • 吸着筒が吸着(精製)と再生の 2 筒交互運転で連続的に精製を行います
  • 吸着剤の再生は、精製した窒素 (N2)、水素 (H2)、またはプロセスガスを高温で逆流させて行います
  • PS33 は、全炭化水素 (THC)、H2、および一酸化炭素 (CO) を二酸化炭素 (CO2)  と水 (H2O) にする加熱型触媒筒が含まれます
  • 最適化された設計により、省フットプリントで、0 ～ 8,333 slpm ( 0 ～ 500 Nm3/hr) の流量とサブ ppb レベルの性能を提供します
  • 特定のガスを除去する用途に応じて PS31、PS32、PS33 から選択可能です

 

  • 詳細を表示 詳細を非表示
MegaTorr® PS31、PS32、PS33 二酸化炭素 ガス精製装置に関心をお持ちの場合:

インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、

お問い合わせ
-->