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MegaTorr® PS7-CR 水素ガス 精製装置

信頼性が高く、低コストで、高性能な MegaTorr® (メガトール) PS7-CR 極低温水素ガス精製装置は、さまざまな不純物を効率的に除去します。

  • 吸着式で半導体アプリケーション向けの超高純度水素 (H2) ガスを提供します
  • 2 つの吸着筒が吸着 (精製) と再生を交互に行い、連続的な精製を行います
  • 吸着剤の再生は、精製した水素 (H2 ) を高温で逆流させて行います
  • 最適化された設計により、省フットプリントで、最大 16,667 slpm (1,000 Nm3/hr) の流量とサブ ppb レベルの性能を提供します
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