Wafergard® II SF ハーフ インライン ガスフィルター
- シリンダーキャビネット
- フォトリソグラフィ
- 成膜
- ドライエッチング
- イオン注入
仕様書
材質: | フィルターエレメント | 316L ステンレススチール | |
ハウジング | Low Sulfur 316L ステンレススチール | ||
粒子清浄度: | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03個/L 以下 | ||
粒子捕捉率: | 0.003 μm 以上の粒子を99.9999999 % 以上 (2.5 L/min @ 20 °C, 101 kPa) 0.003 µm 以上の粒子を99.9999 %以上 (15 L/min @ 20 °C, 101 kPa) | ||
内部粗度: | Ra < 0.17 µm | ||
Heリークレート: | < 9 x 10-10 Pa・m3/sec | ||
設計圧力: | 16.2 MPa (40°C) | ||
使用条件: | 常用圧力* | 1 MPa 未満 | |
最大許容正差圧/逆差圧 | 14.7 MPa | ||
最高使用温度 | 460°C (不活性ガス) |
* 日本国内では高圧ガス保安法が適用されますので、1 MPa以上でご使用の場合は、事前に弊社までお問い合わせ下さい。
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型番 | 継手サイズ | 長さ | 継手タイプ |
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WGMSH1HRU | 6.35 mm (1/4")ガスケットシール、VCR®互換 | 67 mm (2.63") | VCR (MM) |