Wafergard® MAX インライン ガスフィルター
- プロセス装置ガスパネル
- VMB
- シリンダーキャビネット低圧側
- 原材料ガス供給ライン
仕様書
材質 | フィルターエレメント | PFAサポート / PTFEメンブレン |
ハウジング | Low Sulfur 316L ステンレススチール | |
内面粗度 | ブロンズ プラス タイプおよびシルバータイプ Ra < 0.17 μm | |
Heリークレート | 1 x 10-10 Pa・m3/sec | |
粒子清浄度 | 粒子 | 0.01µm以上の粒子が0.03個/L 以下 |
放出ガス (シルバータイプ) | H2O、THC 10 ppb未満 | |
粒子捕捉率 | 0.0015µm以上の粒子を99.9999999% 以上 @ 20°C, 101kPa | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 1 MPa 未満 (日本国内における仕様) |
最大許容正差圧 | 0.7 MPa | |
最大許容逆差圧 | 0.25 MPa | |
最高使用温度 | 20°C | |
流量 | 性能データをご確認ください |
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型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
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WGMXMBPRF2 | 入口6.35 mm (1/4")VCR®オス、出口6.35 mm (1/4")VCR®メス | 141.2 mm (5.6") |
WGMXMBRR2 | 6.35 mm (1/4") VCR®オス | 127 mm (5.00") |
WGMXMBRR4 | 12.7 mm (1/2") VCR®オス | 127 mm (5.00") |
WGMXMBSS2 | 6.35 mm (1/4") Swagelok® | 112.7 mm (4.44") |
WGMXMBSS3 | 9.52 mm (3/8") Swagelok® | 117.9 mm (4.64") |
WGMXMBSS4 | 12.7 mm (1/2") Swagelok® | 118.7 mm (4.67") |
WGMXMPRR2 | 6.35 mm (1/4") VCR®オス | 127 mm (5.00") |
WGMXMPRR4 | 12.7 mm (1/2") VCR®オス | 127 mm (5.00") |
WGMXMPSS2 | 6.35 mm (1/4") Swagelok® | 112.7 mm (4.44") |
WGMXMPSS3 | 9.52 mm (3/8") Swagelok® | 117.9 mm (4.64") |
WGMXMSBW2 | 6.35 mm (1/4")突き合わせ溶着チューブ | 133.4 mm (5.25") |
WGMXMSBW3 | 9.52 mm (3/8")突き合わせ溶着チューブ | 133.4 mm (5.25") |
WGMXMSBW4 | 1/2" 突合わせ溶接式管継手 | 133.4 mm (5.25") |
WGMXMSRR2 | 6.35 mm (1/4") VCR®オス | 127 mm (5.00") |
WGMXMSRR4 | 12.7 mm (1/2") VCR®オス | 127 mm (5.00") |