VaporSorb™TRK ケミカルフィルター
- 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
- リソグラフィ
仕様書
材質 | ||
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ケース: | 透明陽極酸化アルミ | |
メディア: | 高性能吸着剤を特定用途向けにブレンド | |
カバースクリーン: | 透明陽極酸化アルミおよびポリエステル | |
ガスケット: | ポリエチレン | |
物理的性能 | ||
パラメータ | 条件 | 目標値 |
気流速度分布: | フィルター二次側0.1 mの9点@面速度0.5 m/s | 均一な分布、バラツキはほぼ無し |
温湿度ばらつき: | 30 – 70% RH 18°C – 35°C | 製品寿命を通じての劣化 < 10% |
パーティクルの発生: | 数個/m3 | ISO 5 準拠 |
金属性汚染物質: | 未検出 | < 1 ng/L (空気中) |
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型番 | ガスケット(使用する場合) | 高さ | 幅 |
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ESI006600-03 | なし | 400 mm (15.74") | 1120 mm (44.09") |
ESI006600-06 | なし | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") |
ESI006600-12 | あり | 460 mm (18.11") | 620 mm (24.40") |
ESI006600-13 | あり | 460 mm (18.11") | 385 mm (15.15") |
ESI006600-14 | あり | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") |
ESI006600-15 | あり | 615 mm (24.21") | 310 mm (12.20") |
ESI006669-01 | なし | 270 mm (10.62") | 720 mm (28.34") |
ESI006669-02 | なし | 360 mm (14.17") | 620 mm (24.40") |
ESI006670-01 | なし | 360 mm (14.17") | 200 mm (7.87") |