サファイア用スラリー
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- 高品質な光学面の仕上げ
- すべての表面タイプ (ラッピングまたは機械研磨) を原子的に滑らかな表面に研磨
仕様書
製品シリーズ | プロセス | 研磨基板 | 主な特長 | 研磨レート (MRR) |
SP 1000 シリーズ | CMP | C 面、A 面 | 優れた表面仕上げ Ra < 0.1 nm (5 x 5 AFM スキャン) | 2.0 ~ 6.0 µm/hr |
SP 3000 シリーズ | ラッピング | C 面、A 面、R 面 | 非常に低いサブサーフェスのダメージで、超高研磨レート | 20 ~ 25 µm/hr |
SA-GR-80 シリーズ | グラインディング | C 面、A 面、R 面 | パッドを使用したグラインディングプロセス用で同様の研磨レートのグラインディングプロセスに比べ、サブサーフェスのダメージが 1/5 のバルク研磨を提供 | 450 ~ 550 µm/hr |
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