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IntelliGen® HMV20 ディスペンスシステム

IntelliGen® (インテリジェン) HV20 ディスペンス システムは、2 ステージテクノロジー により最大 20 mL の高粘度薬液の信頼性の高いろ過とディスペンスが独立して行えます。

  • Connectology® (コネクトロジー) 設計のフィルターとポンプを組み合わせることで、ろ過性能を低下させることなく、高粘度液 (300 ～ 1,000 mPa･s) でも信頼性の高い吐出性能 を実現
  • 新開発の MMI (Man Machine Interface) は、非常にシンプルなタブ構造の画面で、簡単にプライミングレシピやシステムのレシピ作りが可能。また、プロセスデータとのマッチングや傾向管理に結び付けたいというリクエストにより、「SPC」タブを追加。これにより過去に遡ったデータの閲覧、収集が可能に 
  • 多様なシステム・プロセス管理ツールを搭載している新しい MMI を有効化することにより (有効化/無効化を選択可能)、ウェーハ欠陥の抑制に寄与
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