IntelliGen® HV20 ディスペンスシステム
- 高粘度 (1,000 ~ 20,000 mPa・s) フォトケミカルのユースポイントディスペンス
仕様書
多様なシステム・プロセス管理ツール:
- 圧力波形比較ツール (%)
- 薬液中のエア検出ツール (mL)
- ろ過時の差圧管理ツール (psi)
- 最大リチャージ圧力管理ツール (psi)
- サイクルタイム管理ツール (秒)
材質 | 接液部 | PTFE、変性 PTFE、Kalrez® (カルレッツ) |
ディスペンス 性能 |
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ディスペンス量 | 0.1 ~ 20.0 mL (0.001 mL 単位) | |
ディスペンスレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.01 mL/sec 単位) | |
繰り返し精度 | < 0.03 mL (3σ) | |
薬液粘度* | 1,000 ~ 20,000 mPa・s | |
最大ディスペンス圧** | 1.7 MPa (250 psi) | |
リチャージ 性能 |
フィルトレーションレート、フィルレート、ベントレート、パージレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.01 mL/sec 単位) |
ベント頻度 | ディスペンス 1 ~ 10,000 回の範囲で任意設定または自動ベント | |
機構部 | 接続 | 入口、出口、ベント: 9.53 mm (3/8") スーパータイプピラー® |
適合フィルター (別売) | オプチマイザー® ST フィルター | |
使用ガス | N2 または CDA | |
バキューム | - 68 kPa | |
駆動電源 | 定格電流 | 1.75 A |
入力電圧 (システム) | 24 VDC、1.75 A | |
シリアル通信 | 使用するインターフェースモジュールの種類による | |
パラレル通信 | トリガーおよび ACK | |
寸法 | 高さ 幅 奥行き |
354.2 mm 115.0 mm 328.3 mm |
重さ | < 17.0 kg | |
認証 | CE | |
環境 (クリーンルーム相当の環境のみ) |
標高 周囲温度*** |
< 2,000 m 5 ~ 40 °C |
*/** ディスペンス圧力が 1.7 MPa (250 psi) 以内であれば、粘度が 20,000 mPa・s 以上の薬液でも使用可能です。 *** 装置に依存します。温度を一定に保つため、適切な排気対策が必要です。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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IGHVINT02
Interface module box for D-Sub 25 pin HV20 pump head
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IGHVSP07
IntelliGen® HV external stop valve, 3/8" inlet to 1/4" outlet
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IGHVSP18
IntelliGen® HV external stop valve, 3/8" inlet to 3/8" outlet
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AWAA0LKM1
Impact® HV OF filter, 1.0 µm retention rating, Kalrez® O-ring
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IGMINISP28
RS422 - RS232C K2 converter
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IGMP12HOR02
Multipurpose interface V-2 for D-Sub 15 pin HV20 pump head
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ENCOMTC00
Encompass® dispense system trigger cable
型番 | 継手タイプ | ケーブル長さ | コネクタ | Fitting Configuration |
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IGHV20PHBP3 | 9.53 mm (3/8”) スーパータイプピラー | 1.2 m | RDS01コネクタ | Straight |
IGHV20PHKP3 | 9.53 mm (3/8”) スーパータイプピラー | 1.0 m | D-Sub 25ピン | Straight |
IGHV20PHLP3 | 9.53 mm (3/8”) スーパータイプピラー | 3.0 m | D-Sub 15ピン | Straight |
IGHV20PKPL3 | 9.53 mm (3/8”) スーパータイプピラー | 2.0 m | D-Sub 25ピン | Elbow |