IntelliGen® ULV ディスペンスシステム
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CAD
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アプリケーション
先進の2ステージテクノロジーは、優れたディスペンス性能とコネクトロジーフィルター設計の組み合わせにより、以下のようなアプリケーションで、薬液のディスペンス精度と再現性を発揮します：
- 低粘度(1 - 100 mPa･s)のフォトケミカルのディスペンス
仕様書
| 性能: | ディスペンス量 | 0.01 - 10 mL (0.001 mL単位) | |
| ディスペンスレート | 0.1 - 3.0 mL/sec (0.001 mL/sec単位) | ||
| 繰り返し精度 | ≤0.02 mL (3σ) | ||
| 薬液粘度* | 1 – 100 mPa･s | ||
| 最大ディスペンス圧** | 0.21 MPa | ||
| リチャージ性能: | フィルトレーションレート、フィルレート、ベントレート、パージレート | 0.1 - 3.0 mL/sec (0.001 mL/sec単位) | |
| ベント頻度 | ディスペンス1 - 10000回の範囲で任意設定または自動ベント | ||
| 機構部: | 接液部材質 | 変性PTFE、PTFE、カルレッツ | |
| 接続 | インサート式のスーパータイプピラーまたはフロウエル60シリーズ | ||
| 適合フィルター | インパクト8Gまたはインパクト2 V2 (OFタイプ) | ||
| 入口、出口、ベントのチューブ | 外径 | 6.35 mmまたは6 mm | |
| 内径 | 3.97 mmまたは4 mm | ||
| 使用ガス | 入口ガス種類 | 圧力調整済みN2 | |
| 入口ガス圧力 | 0.26 - 0.28 MPa | ||
| バキューム | - 68 kPa | ||
| 寸法: | 高さ | 200.1 mm | |
| 幅 | 60.7 mm | ||
| 奥行き | 216.5 mm | ||
| 重さ: | 約5 kg | ||
| 駆動電源: | 定格電流 | 1.25 A (最大) | |
| 入力電圧(システム) | 24 VDC ±10% | ||
| シリアル通信 | 使用するインターフェイスモジュールの種類による | ||
| パラレル通信 | トリガーおよびACK | ||
| 認証: | 付属の説明書を参照してください | ||
| 環境: | クリーンルーム相当の環境のみ | ||
| 標高: 2000 mまで | |||
| 周囲温度: 5 - 40°C | |||
| 最大相対湿度: 80% @ < 31°C、50 % @ 40°C | |||
| 電源変動: 22 - 26 VDC | |||
| 過電圧 過渡過電圧のカテゴリーII | |||
* 装置の構成により異なります。詳しくはお問い合わせください。
** 値は理論上の最大値です。実際のディスペンス量やレートは、粘度、配管径、配管長、および配管高さによる圧力降下によって規制される場合があります。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
公開 Oct 16, 2018
Application Note
Filter Priming Recipe for IntelliGen® ULV Dispense System with Oktolex™ Membrane Technology
1.2 MB
公開 Aug 1, 2018
Application Note
Monitoring Air Supply in Spin Coating Photolithography Process
1.2 MB
型番
| 型番 | 継手タイプ | ケーブル長さ | コネクタ | Post Cleaning (OK73 thinner flushing) | オプション |
|---|---|---|---|---|---|
| IGULVPVAP1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 3.0 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |
| IGULVPVAP1F1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 3.0 m | D-Sub 15ピン | 1000 times flushing | N/A |
| IGULVPVAP1F6 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 3.0 m | D-Sub 15ピン | 6000 times flushing | N/A |
| IGULVPVAW1 | 6.35 mm (1/4")インサート式Flowell™ 60シリーズ | 3.0 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |
| IGULVPVAW4 | 1/4" Flowell™ 60 series (in, out), 4 mm Flowell™ 60 series (vent) | 3.0 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |
| IGULVPVAW4F1 | 1/4" Flowell™ 60 series (in, out), 4 mm Flowell™ 60 series (vent) | 3.0 m | D-Sub 15ピン | 1000 times flushing | N/A |
| IGULVPVAW4F6 | 1/4" Flowell™ 60 series (in, out), 4 mm Flowell™ 60 series (vent) | 3.0 m | D-Sub 15ピン | 6000 times flushing | N/A |
| IGULVPVAW4M | 1/4" Flowell™ 60 series (in, out), 4 mm Flowell™ 60 series (vent) | 3.0 m | D-Sub 15ピン | N/A | On manifold (OM) filter connection |
| IGULVPVBP1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 1.25 m | PA-Con 15 pin | N/A | N/A |
| IGULVPVBP1F1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 1.25 m | PA-Con 15 pin | 1000 times flushing | N/A |
| IGULVPVCP1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 0.8 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |
| IGULVPVCP1F1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 0.8 m | D-Sub 15ピン | 1000 times flushing | N/A |
| IGULVPVGP1 | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 0.10 m | D-Sub 15 pin, 3 lines | N/A | N/A |
| IGULVPVGP1TD | 6.35 mm (1/4")スーパータイプPillar® | 0.10 m | D-Sub 15 pin, 3 lines | N/A | Thermo device type |
| IGULVPVHP2 | 6 mmスーパータイプPillar® | 1.25 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |
| IGULVPVJP2 | 6 mmスーパータイプPillar® | 10.0 m | D-Sub 15ピン | N/A | N/A |