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角型125 mmデュアルプロセスタンク (18.5 L)

125 mmウェーハのカセットを2個の処理できる、清浄で低コストな射出成形タンクです。

  •  PFA製で、極めて高純度な腐食性薬液にも使用できます
  • 蓋付きと蓋なしがあります
  • 滑らかな表面は非摩耗性で洗浄が容易です
  • シームレスの一体型射出成形により溶着接合部がないため、パーティクルが滞留しにくくリークの恐れもありません
  • 完全にドレンできる傾斜付き設計で各種ドレンのオプションがあります
  • 高温のアプリケーションで使用する場合は、タンクの支持が必要です
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