角型125 mm デュアルプロセスタンク (15.5 L)
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量については、お問い合わせください。
注: 高温アプリケーションでは、タンク内容量や関連部品の重量でタンクが変形しないように、タンク底面および側壁を完全に支持する必要があります。
2個の125 mmウェーハカセットを一度に処理するアプリケーション:
- 半導体のウェットプロセス
- ライフサイエンス、ファインケミカル、およびバイオプロセス
仕様書
型番 | A 上部内側 長さ × 幅 | B 底部内側 長さ ×幅 | C 深さ | D 取り付け穴 長さ × 幅 |
E87-01-0215 | 358 mm × 206 mm | 330 mm × 178 mm | 257 mm | 368 mm × 218 mm |
型番 | 材質 | 製品詳細 | 容量 |
E87-01-0215 | PFA | ドレンなし | 15.5 L |
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