Cascade® 2000 200 mm デュアルプロセスタンク
充填チューブ、底部ドレン、側面ドレン、ハンドル、取り付けブラケット、センサー機能などの特殊機能を容易に組み込むことができます。また、必要に応じて標準のPureBond® (ピュアボンド) ドレンポートに各種継手を溶着することもできます。詳しくは、お問い合わせください。
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量および追加の寸法情報については、お問い合わせください。
デュアルタンクは、2個の200 mmウェーハカセットを一度に処理でき、以下のようなアプリケーションに適しています:
- 半導体のウェットプロセス
- ライフサイエンス、ファインケミカル、およびバイオプロセス
仕様書
型番 | 寸法 | ||||||||
A | B | C | D | E | F | G | H | ØI | |
E200-01D-0215 | 762 mm | 396 mm | 546 mm | 295 mm | 330 mm | 53 mm | 305 mm | 257 mm | 165 mm |
E200-01D-0515 | 781 mm | 404 mm | 556 mm | 305 mm | 320 mm | 41 mm | 315 mm | 269 mm | 168 mm |
容量: | |||
内側プロセスタンク: | PFA PVDF | 41 L 45 L | |
外側プロセスタンク: | PFA PVDF | 15 L 17 L | |
最高使用温度: | |||
PFA PVDF | 180°C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 種類 | 材質 |
---|---|---|
118-0006-0215 | カバー、PFAおよびPVDFタンクに適合 | PFA |
E200-01D-0215 | タンク、ドレン付き | PFA |
充填チューブ、底部ドレン、側面ドレン、ハンドル、取り付けブラケット、センサー機能などの特殊機能を容易に組み込むことができます。また、必要に応じて標準のPureBond® (ピュアボンド) ドレンポートに各種継手を溶着することもできます。詳しくは、お問い合わせください。
注: 最小注文数が設定されている製品です。数量および追加の寸法情報については、お問い合わせください。