Protego® Plus HT ピューリファイヤー
- 半導体、データストレージ、フラットパネルディスプレイ製造
- 洗浄・剥離
- 純水
- 装置の使用点、薬液製造、薬液供給
仕様書
| HTX 10" and 20" Cartridges | Dimensions | ||
| A | B | C | |
| 10" cartridge | 242 mm (9.53") | 225 mm (8.86") | 264.6 mm (10.42") |
| 20" cartridge | 471 mm (18.54") | 454 mm (17.87") | 473.6 mm (18.65") |
| HT 10" and 20" Cartridges | A | B | C |
| 10" cartridge | 262 mm (10.31") | 245 mm (9.65") | 264.6 mm (10.42") |
| 20" cartridge | 506 mm (19.92") | 489 mm (19.25") | 508.6 mm (20.02") |
| HT 30" Cartridges | A | B | C |
| 30" cartridge | 752.6 mm (29.63") | 731 mm (28.78") | 804.0 mm (31.64") |
| 材質: | メンブレン | 親水性ポリスルフォン | |
| イオン交換メディア | ポリエチレン | ||
| サポート、コア/スリーブ | ポリプロピレン | ||
| O-リング | 被覆フッ素ゴム (E-FKM) または カルレッツ 6375UP | ||
| ケムロック キー | ポリプロピレン | ||
| カートリッジ形状: | コード0 (AS568-222 O-リング) | ||
| コード7 (AS568-226 O-リング/フィン付き) (30” のみ) | |||
| 除粒子径: | 7 nm または ピューリファイヤーのみ | ||
| 使用条件: | 最高使用圧力 | 0.34 MPa @ 25 °C | |
| 最大許容正差圧 | 0.27 MPa @ 25 °C、0.05 MPa @ 80 °C | ||
| 最大許容逆差圧 | 0.27 MPa @ 25 °C | ||
| 最高使用温度 | 80 °C | ||
| 膜面積: | 10" タイプ | HT (ピューリファイヤーのみ): 0.52 m2 | |
| HTX (7 nm): 0.93 m2 | |||
| 20" タイプ | HT (ピューリファイヤーのみ): 1.04 m2 | ||
| HTX (ピューリファイヤーのみ): 1.67 m2 | |||
| 30" タイプ | HT (ピューリファイヤーのみ): 1.56 m2 | ||
| イオン交換容量: | 10" タイプ | HT: ≥ 74 ミリ当量/ユニット | |
| HTX: ≥ 110 ミリ当量/ユニット | |||
| 20" タイプ | HT: ≥ 148 ミリ当量/ユニット | ||
| HTX: ≥ 220 ミリ当量/ユニット | |||
| 30" タイプ | HT: ≥ 222 ミリ当量/ユニット |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
| 型番 | 除粒子性能 | 接続 | 長さ | O-リング | ケムロックキー | 精製能力 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PRH001PLQ | ピューリファイヤー | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 74ミリ当量/ユニット |
| PRH001PLQY | ピューリファイヤー | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 74ミリ当量/ユニット |
| PRH001PQ1 | ピューリファイヤー | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRH001PQ1Y | ピューリファイヤー | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRH002PLQ | ピューリファイヤー | コード0 | 20 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 148ミリ当量/ユニット |
| PRH002PLQY | ピューリファイヤー | コード0 | 20 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 148ミリ当量/ユニット |
| PRH002PQ1 | ピューリファイヤー | コード0 | 20 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 220ミリ当量/ユニット |
| PRH002PQ1Y | ピューリファイヤー | コード0 | 20 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 220ミリ当量/ユニット |
| PRHE01PPR0T | 1 nm | コード0 | 10 インチタイプ | Kalrez® 6375UP | なし | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHE01PPRYT | 1 nm | コード0 | 10 インチタイプ | Kalrez® 6375UP | あり | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHE01PQ10T | 1 nm | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHE01PQ1YT | 1 nm | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHM01PQ1 | 7 nm | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | なし | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHM01PQ1Y | 7 nm | コード0 | 10 インチタイプ | E-FKM | あり | ≥ 110ミリ当量/ユニット |
| PRHM01PR1 | 7 nm | コード0 | 10 インチタイプ | W240UP | なし | ≥ 110ミリ当量/ユニット |