Protego® Plus IPA ピューリファイヤー
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アプリケーション
- 半導体製造
- 溶剤
- 装置の使用点、薬液供給、薬液製造
仕様書
| Chem-Line™ II ATE ディスポーザブル | P3000 ディスポーザブル | P1500 ディスポーザブル | |||
| 材質: | メンブレン | PTFE | PTFE | ||
| コア、サポート、ハウジング | PFA | PFA | |||
| 精製対象: | 金属イオン | 金属イオン | |||
| 精製能力: | 4.3 ミリ当量 | 1.18 ミリ当量 | 0.48 ミリ当量 | ||
| 除粒子径: | 15 nm | 15 nm | |||
| 継手サイズ: | スーパー300タイプピラー、 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | ||
| スーパー300タイプピラー、 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | |||
| スーパー300タイプピラー、 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口8 mm、ベント/ドレン6 mm | スーパー300タイプピラー、 入口/出口8 mm、ベント/ドレン6 mm | |||
| スーパー300タイプピラー、 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | スーパー300タイプピラー、 入口/出口8 mm、ベント/ドレン6 mm | スーパー300タイプピラー、 入口/出口8 mm、ベント/ドレン6 mm | |||
| スーパー300タイプピラー、 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2”) | フレアテック、 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | フレアテック、 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | |||
| Flaretek® (フレアテック)、 入口/出口19.05 mm (3/4”)、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | - | - | |||
| フレアテック、 入口/出口19.05 mm (3/4”)、ベント/ドレン12.7 mm (1/2”) | - | - | |||
| フレアテック、 入口/出口25.4 mm (1”)、ベント/ドレン6.35 mm (1/4”) | - | - | |||
| NVR抽出量: | ≤ 1.0 mg/デバイス (IPA) | ≤ 0.4 mg/デバイス (IPA) | |||
| 金属抽出量: | < 3 μg/デバイス | < 3 μg/デバイス | |||
| 膜面積: | 1.77 m2 | 0.49 m2 | 0.20 m2 | ||
| 2 L/min の参考差圧: IPA @ 25ºC (粘度1.96 mPa･s) | 11.5 kPa @入口/出口25.4 mm (1”) | 39 kPa | 99 kPa | ||
| 2 L/min の参考差圧: IPA @ 50ºC (粘度0.97 mPa･s) | 9.2 kPa @入口/出口25.4 mm (1”) | 19 kPa | 49 kPa | ||
| 使用条件: | 最高使用温度 | 70ºC | 70ºC | ||
| 最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25ºC | 0.44 MPa @ 25ºC | |||
| 最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25ºC | 0.39 MPa @ 25ºC | |||
| 最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25ºC | 0.26 MPa @ 25ºC | |||
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型番
| 型番 | 形状 | 精製能力 | IPA親水化処理 | 長さ | 接続 |
|---|---|---|---|---|---|
| PIDWACE0F2FM | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 4.30ミリ当量/ユニット | なし | 10 インチタイプ | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、Flaretek®継手 |
| PIDWACE0P3PM | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 4.30ミリ当量/ユニット | なし | 10 インチタイプ | 入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIDWACE4P3PM | Chem-Line™ IIラージディスポーザブル | 4.30ミリ当量/ユニット | なし | 10 インチタイプ | 入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW15C2S | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW15C3F | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")Flaretek®継手 |
| PIPW15C3S | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW15C3SA | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | あり | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW15C8P | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口8 mm、スーパータイプPillar®継手 |
| PIPW15C8S | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口8 mm、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW15C8SA | P1500スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | あり | 5 インチタイプ | 入口/出口8 mm、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW30C2S | P3000スモールディスポーザブル | 0.48ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW30C2SA | P3000スモールディスポーザブル | 1.18ミリ当量/ユニット | あり | 5 インチタイプ | 入口/出口12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW30C3F | P3000スモールディスポーザブル | 1.18ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")Flaretek®継手 |
| PIPW30C3S | P3000スモールディスポーザブル | 1.18ミリ当量/ユニット | なし | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")、スーパー300タイプPillar®継手 |
| PIPW30C3SA | P3000スモールディスポーザブル | 1.18ミリ当量/ユニット | あり | 5 インチタイプ | 入口/出口9.52 mm (3/8")、スーパー300タイプPillar®継手 |