Microgard™ Gen 1 UPE フィルター
次のような 5 nm 以下の先端フォトケミカル アプリケーションに適しています。
- フォトレジスト
- 溶剤
- その他の助剤
仕様書
カートリッジフィルター (胴径 70 mm) | ||
長さ | 寸法 A | 寸法 B |
10" | 262.3 mm | 245.0 mm |
20" | 506.5 mm | 489.2 mm |
カートリッジフィルター (胴径 83 mm) | ||
長さ | 寸法 A | 寸法 B |
10" | 242.3 mm | 225.0 mm |
20" | 471.0 mm | 454.0 mm |
カートリッジ | ディスポーザブル | |||
材質 | サポート、コア、スリーブ | 高密度ポリエチレン (HDPE) | ||
メンブレン | UPE | |||
O リング | 被覆フッ素ゴム (E-FKM, 規格:AS568-222) | — | ||
接続 | — | 6.35mm (1/4") コンプレッションシール | ||
膜面積 | 10 インチタイプ | 胴径 70 mm:1.15 m2 | 0.22 m2 | |
胴径 83 mm:1.69 m2 | ||||
20 インチタイプ | 胴径 70 mm:2.30 m2 | |||
胴径 83 mm:3.39 m2 | ||||
流量特性 | 10 インチタイプ | 胴径 70 mm:2.0 L/min @ 39.2 kPa | 0.625 L/min @ 58.8 kPa | |
胴径 83 mm:3.3 L/min @ 39.2 kPa | ||||
20 インチタイプ | 胴径 70 mm:4.0 L/min @ 39.2 kPa | |||
胴径 83 mm:6.5 L/min @ 39.2 kPa | ||||
使用条件 | 最大許容正差圧/逆差圧:0.24 MPa @ 25 °C | 最高使用圧力:0.34 MPa @ 25 °C最大許容正差圧/逆差圧:0.27 MPa @ 25 °C | ||
最高使用温度:60 °C | ||||
金属抽出 | ウルトラクリーン:23 金属 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 製品タイプ | 胴径 | 長さ |
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MU0101MTP100ND | カートリッジ | 70 mm | 10 インチタイプ |
MU0102MTP100ND | カートリッジ | 70 mm | 20 インチタイプ |
MU0102XTP100ND | カートリッジ | 83 mm | 20 インチタイプ |
MU01DS10P200ND | 小型ディスポーザブル | N/A | N/A |