SAGE® ガス負圧保管・供給 ソース

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SAGE®ガスパッケージはSDS®ガスパッケージのテクノロジーにより、CVDプロセスとその他のガス成膜プロセス用に設計されました。このガスパッケージは最適化された炭素系吸着剤を使用しており、負圧でガスを保管、供給します。

  • 毒性の強いガスのガス漏れ事故の危険性を解消
  • シリンダー交換回数を削減
  • 極めて安定したドーパントガスを提供
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