SUPERSiC®-GS
インテグリスのアカウント担当にお問い合わせいただくか、
- イオン注入ビームラインコンポーネント
仕様書
かさ密度:* | 2.18 g/cm3 |
総不純物濃度: | < 10 ppm |
曲げ強度:** | 69 MPa |
熱伝導率K: | 88 W/m-K |
電気抵抗率: | 3050 μΩ-cm |
250 – 750°Cの平均CTE: | 4.5 10 -6 /K |
* SA/V比12.5の場合です。
** 0.25” × 0.5” × 4”のバーによる4点押し曲げ法で計測しました。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました