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SUPERSiC®-Si-3C

SUPERSiCは、表面を密閉する75 μmの化学気相成長(CVD) SiCでコーティングされています。 

  • コーティングにより、シリコンカーバイドの有効空隙率を低減
  • 高純度のCVDシリコンカーバイド
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