Torrento® S フィルター
- 半導体および薬液製造
- プロセス: ウェーハの洗浄・剥離、薬液供給設備
- 溶剤、BEOL用薬液
- 装置内や使用点、原材料
仕様書
トレント S ATE / AT3 / ATF カートリッジ | トレントS ATE / AT3 / ATF ケムライン I / II ディスポーザブル | ||
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材質: | メンブレン | Non-dewetting PTFE | Non-dewetting PTFE |
コア、スリーブ、サポート | PFA | PFA | |
O-リング | 被覆フッ素ゴム(E-FKM)、被覆ETP(E-ETP)、カルレッツ 6375UP | - | |
ハウジング | - | PFA | |
除粒子径: | 10 nm | 10 nm | |
膜面積: | ATE 10":1.89 m2, 20”: 3.78 m2 ATF 10": 2.4 m2, 20": 4.8 m2 AT3 10": 3 m2, 20": 6 m2 | ATE:1.89 m2 ATF: 2.4 m2 AT3: 3 m2 | |
カートリッジ形状: | コード0 (AS568-222 O-リング) | ||
使用条件: | 最高使用圧力 | 0.58 MPa @ 25°C 0.097 MPa @ 200°C | |
最大許容正差圧 | 0.44 MPa @ 25°C | 0.44 MPa @ 25°C 0.05 MPa @ 200°C | |
最大許容逆差圧 | 0.34 MPa @ 25°C | 0.34 MPa @ 25°C | |
最高使用温度 | 200°C | ||
金属抽出物: | 高清浄品 (UCM-16) | 16種類の金属について試験済み | |
その他の抽出物(親水化処理品のみ): | 高清浄品 (UCM-16) | TOC、CI、NVR |
トレントS 1500 / 3000 スモール ディスポーザブル | ||||
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材質: | メンブレン | Non-dewetting PTFE | ||
コア、スリーブ、サポート | PFA | |||
ハウジング | PFA | |||
除粒子径: | 10 nm | |||
膜面積: | 1500タイプ: 0.19 m2 3000タイプ: 0.44 m2 | |||
使用条件: | 最高使用圧力 | 0.59 MPa @ 25°C 0.19 MPa @ 95°C | ||
最大許容正差圧 | 0.39 MPa @ 25°C 0.19 MPa @ 95°C | |||
最大許容逆差圧 | 0.29 MPa @ 25°C | |||
最高使用温度 | 95°C | |||
注: 溶剤でご使用の場合は、ドライ品を選択してください。 水溶液と溶剤の混合液でのご使用の場合は、親水化処理品を選択してください。 トレントSシリーズ10 nmフィルターの構成部材はすべてPFOAフリーです。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 形状 | 流量 | ケムロックキー | 親水化処理 | O-リング | 接続 | 長さ |
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TSCT31C0BKP | カートリッジ | 高流量 | あり | あり | E-ETP | コード0 | 10 インチタイプ |
TSCTF1C0B0D | カートリッジ | 高流量最適化 | なし | なし | E-ETP | コード0 | 10 インチタイプ |
TSCTF1C0RKD | カートリッジ | 高流量最適化 | なし | なし | Kalrez® 6375UP | コード0 | 10 インチタイプ |
TSCTF2C0B0D | カートリッジ | 高流量最適化 | なし | なし | E-ETP | コード0 | 20 インチタイプ |
TSCTF2C0B0P | カートリッジ | 高流量最適化 | なし | あり | E-ETP | コード0 | 20 インチタイプ |
TSPT15CM31SD | P1500スモールディスポーザブル | 低流量 | N/A | なし | N/A | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | 4" |
TSPT30JM21SD | P3000スモールディスポーザブル | 低流量 | N/A | なし | N/A | インラインオス、入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手 | 8" |
TSVTF1C942SP | Chem-Line™ Iラージディスポーザブル | 高流量最適化 | N/A | あり | N/A | T型、90度コアベント、入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手 | 10 インチタイプ |