ダミーウェーハ
- 成膜
- サイズ: 最大300 mm
- フルラウンド、ノッチ、オリフラを選択可能
仕様書
| 代表的な材料特性 | |
|---|---|
| 特性: | SUPERSiC-3C |
| みかけ密度: | 3.15 g/cm3 |
| かさ密度: | 2.55 g/cm3 |
| 全気孔率:* | 20% |
| 開放気孔率:** | 0% |
| 総不純物濃度: | < 10 ppm |
| 曲げ強度: | 155 MPa |
| 引張強度: | 129 MPa |
| 弾性係数: | 217 GPa |
| 比剛性: | 85 kN.m/g |
| ポアソン比: | 0.17 |
| 動剛性率: | 97 GPa |
| 硬度: | 1992 kg/mm2 |
| 熱拡散率: | 100 mm2/s |
| 熱伝導率: | 170 W/m.K |
| 常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
* 空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません。
** 空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています。
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