125 mm および 100 mm ウェーハキャリア用ウェーハリテーナー
- 125 mm (5") / 100 mm (4") ウェーハキャリアの輸送やハンドリングに使用
仕様書
型番 | ウェーハ径 | 外形寸法 |
A72-40M-02-0215 | 100 mm (4") | 102 mm × 135 mm × 15 mm |
A72-50-02-0215 | 125 mm (5") | 135 mm × 165 mm × 18 mm |
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型番 | ウェーハサイズ |
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A72-40M-02-0215 | 100 mm |
A72-50-02-0215 | 125 mm |