ディッパー
基板クリップ D11-03-0215 は、D11 と D14 両方のディッパーに使用可能です。各ディッパーにクリップが 1 個付属しています。
- ウェーハ加工
- ウェーハ ハンドリング
仕様書
型番 | ウェーハ径 | 角型基板サイズ | 基板の厚さ (最大) | ディッパーの長さ | 材質 |
D15-0215 | 125 mm (5") ~ 200 mm (8") | 114 mm ~ 203 mm | 6.4 mm | 480 mm | PFA (ナチュラル) |
D14-0215 | 57 mm (2.25") ~ 125 mm (5") | 50 mm ~ 153 mm | 3.0 mm | 265 mm | PFA (ナチュラル) |
D11-0215 | 57 mm (2.25") 以下 | 51 mm 以下 | 1.5 mm | 210 mm | PFA (ナチュラル) |
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型番 | 製品タイプ | ウェーハサイズ |
---|---|---|
D11-0215 | ディッパー | 57 mm以下 |
D11-03-0215 | Substrate clip | 125 mm and smaller |
D14-0215 | ディッパー | 57 mm - 125 mm |
D15-0215 | ディッパー | 125 mm - 200 mm |
基板クリップ D11-03-0215 は、D11 と D14 両方のディッパーに使用可能です。各ディッパーにクリップが 1 個付属しています。