Wafergard® II F マイクロ インライン ガスフィルター
- ライフサイエンス分野
- オゾンガス
- ガスキャビネットおよびガスパネル
- 高純度ガスシステム
- プロセス装置内
仕様書
材質 | フィルターエレメント | PFAサポート / PTFEメンブレン |
ハウジング | Low Sulfur 316L ステンレススチール | |
粒子清浄度 | 粒子 | 0.01 μm 以上の粒子が0.03 個/L 以下 |
水分 | 10 ppb 以下 | |
粒子捕捉率 | 0.0015 µm以上の粒子を99.9999999%以上 | |
内面粗度 | Ra < 0.17 μm | |
Heリークレート | <9 x 10-10 Pa・m3/sec | |
使用条件 | 常用圧力* | 1 MPa 未満 (設計圧力 16.2 MPa @ 23°C) |
最大許容正差圧 | 0.41 MPa | |
最大許容逆差圧 | 0.07 MPa | |
最高使用温度 | 120°C | |
流量 | 性能データをご確認ください |
*日本国内では高圧ガス保安法が適用されますので、1 MPa以上でご使用の場合は、事前に弊社までお問い合わせ下さい。
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型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ | アプリケーション |
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WG2FT1BW2 | 6.35 mm (1/4")突き合わせ溶着チューブ | 89.9 mm (3.54") | 半導体 |
WG2FT1RF2 | 入口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®継手互換)オス、出口同メス | 88.9 mm (3.50") | 半導体 |
WG2FT1RR2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") | 半導体 |
WG2FT1RR2L | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") | ライフサイエンス |
WG2FT1SS2 | 6.35 mm (1/4")コンプレッションシール(スウェージロック継手互換) | 73.7 mm (2.90") | 半導体 |